BW-930B 氦质谱检漏仪

一、检漏仪原理

氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示终气体，专门针对于有气密性要求的产品做密封性检测的质谱分析仪器。其基本原理是：采集被检件中的气体将其电离，根据不同种类气体离子质荷比不同的特点，用磁偏转分离原理检出氦离子，通过测量氦离子流来确定漏孔大小及位置。

常用行业名词 ：

气体泄漏：在压强差存在的情况下所产生的气体定向移动。  

漏率:国际通用测量单位Pa·m³/s：表示单位时间内单位压差情况下通过某漏孔所泄露的气体量。

最小可检漏率：在理想工作条件下，以一个大气压的纯氦作为示漏气体，检漏仪能检出的最小漏孔。 

响应时间：仪器检漏口喷氦致使漏率值上升到漏孔饱和泄露值的0.63倍时所需时间。 

氦本底：在喷氦检漏前，由于被检件和检漏仪中残余氦气不能及时清除，造成的本底信号。  

检漏口最大压强：检漏仪内检漏阀开启所允许的最大压强值。

1.2性能参数 

1.2.1基本参数 

额定电压 单相220V±10%

额定功率 1KW

真空连接 KF25 

环境温度 5-40℃ 

相对湿度 ≤80%

1.2.2 性能指标 

最小可检漏率 1.0×10^-13 Pa·m³/s

检漏范围 1.0×10^-13—1.0×10^-3 Pa·m³/s

响应时间 ≤1s

开机时间 ≤3min

最大检漏口压强 1000Pa

二、系统介绍

氦质谱检漏仪的结构分为两部分：

A、质谱分析器及各管路通道的真空系统；

B、离子信号测量和操作控制的电子测量控制系统。